半導體無塵車間工作制度       上海

一、步入無塵車間前期準備工作
1、進入無塵車間前，必須經(jīng)過凈化工程公司培訓。
2、進入無塵車間嚴禁吸煙，飲食，外來雜物不可攜入。
3、進入無塵室前，需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)，私人物品置于私人柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物。
4、進入無塵室須先在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯（洗塵室地板上）方得進入。
5、戴口罩時，應(yīng)將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時污染芯片。
6、穿著無塵衣，無塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā)。
7、整理儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則：
（1）頭發(fā)必須覆蓋在帽內(nèi)，不得外露。
（2）無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。
8、無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應(yīng)尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài)，無塵衣不可反穿。
9、穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實蓋在褲管之上。
10、戴手套時應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處（防止鈉離子污染），戴上手套后，應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi)，以隔絕污染源。
11、無塵衣著妥后，經(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進入無塵室。
12、不論進入或離開無塵室，須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區(qū)域為之，尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫。
13、無塵衣、鞋套等，應(yīng)定期清洗，有破損，脫線時，應(yīng)即換新。
14、脫下無塵衣時，其順序與穿著時相反。
15、脫下之無塵衣應(yīng)吊好，并放于更衣室內(nèi)上層柜子中；鞋套應(yīng)放置于吊好的無塵衣下方。
16、更衣室內(nèi)小柜中，除了放置無塵衣等規(guī)定物品外，不得放置其它物品。
17、除規(guī)定紙張及物品外，其它物品不得攜入無塵室。
18、無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規(guī)定處所。
19、口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。
20、任何東西進入無塵室，必須用灑精擦拭干凈。
21、任何設(shè)備的進入通知管理人，在無塵室外擦拭干凈，方可進入。
22、未通過考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當處理，例如關(guān)閉水、電、氣體等開關(guān)。
23、無塵室內(nèi)不可動火，以免發(fā)生意外。
二、無塵室操作須知
1、處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗，方得繼續(xù)使用。
（1）任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
（2）芯片清洗后進行下一程序前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。
（3）把芯片放置于石英舟上，準備進爐管時，若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。
2、芯片必須放置盒中，蓋起來存放于規(guī)定位置，盡可能不讓它暴露。
3、避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進擴散爐前，要特別注意，防止上述動作產(chǎn)生。
4、從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上，取出芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。
5、芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用刀在芯片上刻記。
6、操作時，不論是否戴上手套，手絕不能放進清洗水槽。
7、使用化學站或烤箱處理芯片時，務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi)，不可使用塑料盒。
8、擺置芯片于石英舟時，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進氧化爐。
9、請勿觸摸芯片盒內(nèi)部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。
10、手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置于操作臺，手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。
11、非經(jīng)指示，絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。
12、奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關(guān)人員。
13、儀器因操作錯誤而有任何損壞時，立刻告知負責人員。
14、芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。
15、無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄。
三、黃光區(qū)操作須知
1、濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度，并應(yīng)減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)以免感光。
3、已上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應(yīng)放置于不透明之藍黑色晶盒之內(nèi)，盒蓋必須蓋妥。
4、光罩使用時應(yīng)持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷。
5、曝光時，應(yīng)避免用眼睛直視曝光機汞燈。
四、鑷子使用須知
1、進入實驗室后，應(yīng)先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。
2、唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。